Anneaux de dérapage électriques pour équipements à semi-conducteurs

Les bagues collectrices électriques sont des composants rotatifs de haute précision haut de gamme pour les équipements à semi-conducteurs, spécialement conçus pour la production automatisée, la haute précision et les conditions de fonctionnement à haute fiabilité dans l'industrie des semi-conducteurs. Sous une rotation continue et illimitée à 360°, elles assurent une transmission stable de l'alimentation, des signaux d'encodeur et de divers signaux sensibles. Conçues avec des trous traversants centraux et des joints rotatifs pneumatiques ou hydrauliques en option, elles permettent une transmission transparente de l'électricité, des signaux, du gaz et du liquide. Cette solution intégrée prend en charge une large gamme d'équipements à semi-conducteurs tout au long des étapes de traitement des plaquettes, d'encapsulation, de test et d'automatisation.

Applications principales dans le processus de production des semi-conducteurs

Les bagues collectrices électriques sont largement utilisées dans l'ensemble du processus de production de la fabrication de plaquettes de semi-conducteurs, de l'encapsulation des puces et des tests des produits finis, et conviennent parfaitement aux mécanismes rotatifs des principaux équipements de semi-conducteurs.

Applications clés :

1. Fabrication de plaquettes en front-end

Utilisées dans des équipements tels que les revêtements et développeurs de résine photosensible, les machines de gravure, les systèmes de dépôt de couches minces PVD/CVD et les machines CMP. Idéales pour les mandrins rotatifs, les plateaux cibles ou les têtes de polissage, avec des trous traversants pour les supports de plaquettes, les conduites de vide et les pipelines de gaz.

2. Encapsulation et tests en back-end

Applicables au découpage de plaquettes, à la liaison de puces, à la liaison filaire et aux machines de moulage. Prennent en charge les tables d'indexation rotatives et les mécanismes de prise et de placement, avec des trous traversants pour les conduites de vide et les câbles de test ou d'entraînement.

3. Inspection et tri complets du processus

Pour les testeurs de plaquettes, les systèmes d'inspection visuelle des puces et les équipements de test électrique. Assurent une transmission de signal haute fidélité dans les tables de travail rotatives ou les systèmes à cardan, avec des trous traversants pour les arbres de mise au point des lentilles ou les entraînements de sondes.

4. Automatisation et équipements auxiliaires

Utilisées dans les ascenseurs rotatifs AGV pour plaquettes, les robots de chaîne de production et les systèmes de manutention FOUP. Prennent en charge l'intégration compacte dans les joints rotatifs et les plates-formes de chargement pour une transmission transparente de l'alimentation, des signaux et des fluides.